正在化学气相重积(CVD)工艺中，氩气(Ar)行为载气有劲输送响应气体(如硅烷、氨气)，同时行为庇护气决绝氛围，其纯度(≥99.999%)与安靖供应直接裁夺薄膜重积的平均度与晶圆电学职能。若氩气纯度亏空(含氧量 / 水分超标)或产生揭发，会导致薄膜掺杂氧化杂质、响应腔室压力分外，乃至激发硅烷等可燃气体爆炸危害。深邦安新工夫针对 CVD 工艺性情，推出专用氩气检测仪计划，通过 “高精度检测 + 智能联动”，为 CVD 工艺氩气平和管控供应全流程处置计划。

　　深邦安专用氩气检测仪采用进口热传导传感工夫，冲破古代检测工夫的精度瓶颈：

　　纯度检测：针对氩气中微含量检测(0-10VOL)，阔别率达 0.1VOL，检测精度≤±3% F.S.，可精准识别氩气纯化体例失效导致的纯度降落(如氧含量从 5ppm 升至 20ppm)，避免薄膜氧化缺陷;

　　揭发检测：集成常例氧检测模块(0-25% VOL)，T90 响适时间≤10秒，氩气揭发时通过氧浓度降落反向精准决断揭发量，处置氩气无色乏味难监测的痛点;

　　抗扰乱安排：内置气体交叉扰乱算法，可过滤硅烷、氨气等 CVD 工艺气体对检测的影响，确保丰富气体处境下数据牢靠。

　　基于 CVD 工艺车间高温、高清白、侵蚀性的处境特性，深邦安SGA-501氩气检测仪正在构造与防护上专项优化：

　　1.清白与防腐：机身采用 316L 不锈钢 + 特氟龙涂层，通过 Class 100 级清白认证，无颗粒零落污染晶圆;采样管途选用 PTFE 材质，耐响应气体残留侵蚀，避免管途老化影响检测精度;

　　2.温湿度耐受：事业温度遮盖 - 20℃-70℃，可适配 CVD 腔室周边 50℃-60℃的局限高温处境;湿度 30%-95% RH(无冷凝)下，通过防潮透气膜安排阻断水汽侵入，检测差错≤±0.3% F.S.;

　　3.防爆平和：防爆等第达 Ex d IIB T6 Ga，相符 CVD 车间潜正在可燃气体处境的平和央求，避免电火花激发危害。

　　纯化体例出口：正在氩气纯化体例出口管途安置深邦安正在线式氩气检测仪(管道式安置)，及时监测纯化后氩气的氧含量、水分，当纯度低于 99.999%(氧含量≥10ppm / 水分≥5ppm)时，主动触发纯化体例备用滤芯切换，确保原料气质地;

　　气瓶间 / 储罐区：正在氩气储罐周边、气瓶接头处陈设检测仪，采用扩散式采样，监测氩气揭发(揭发时氧浓度≤20.0% VOL 即预警)，联动气瓶间排风体例，避免揭发积蓄导致缺氧。

　　响应腔室入口：正在氩气进入 CVD 腔室的管途阀门后安置检测仪，采用泵吸式采样(采样流量 500mL / 分钟)，及时监测进入腔室的氩气纯度，避免管途污染导致的纯度震动，保险响应气体配比安靖;

　　筑设周边与夹层：正在 CVD 筑设两侧、底部夹层等人工巡检盲区，陈设深邦安便携式氩气检测仪(搭配巡检职员)或集成至巡检机械狗，重心监测氩气揭发，越发闭怀腔室密封件、管途接优等易揭发部位，揭发浓度超标时顿时暂停筑设运转。

　　深邦安氩气检测仪计划配套SG-6000 气体监控平台，达成全流程智能管控：

　　1.及时监控：平台维持电脑端、手机 APP 众终端拜候，动态显示各监测点氩气纯度、揭发浓度、筑设形态，天生浓度改观弧线与车间危害热力争;

　　2.分级报警：当氩气纯度不达标(一级预警)时，平台推送短信至工艺员;揭发导致氧浓度≤19.5% VOL(二级报警)时，主动割断氩气供应阀门，启动区域排风与应急播送;

　　3.数据追溯：主动存储 1 年以上检测数据，维持按 CVD 工艺批次盘问对适时段的氩气参数，知足半导体行业合规审计央求(如 SEMI S2 圭臬)，便于工艺分外追溯。

　　1.工艺质地保险：通过氩气纯度精准管控，避免氧化杂质导致的薄膜电阻率分外、附出力降落，薄膜重积良率擢升 15%-20%;

　　2.平和危害消重：达成氩气揭发 “早发掘、速处分”，揭发响适时间从古代人工巡检的 30 分钟缩短至 5 分钟，职员缺氧揭示危害消重 90%;

　　3.运维结果擢升：正在线式检测与智能联动节减人工干扰，纯化体例、排风体例的主动化调控消重运维事业量，单条 CVD 坐蓐线.合规达标：检测数据与监控平台知足 GB/T 10624-2022《高纯氩》、SEMI S2 等圭臬央求，助力企业胜利通过行业平和与质地审计。

　　深邦安新工夫仰仗正在气体检测范畴 15 年的工夫积蓄，针对 CVD 工艺氩气管控的痛点，通过专项研发的高精度SGA-501氩气检测仪与智能监控计划，为半导体薄膜重积工艺供应安靖、牢靠的氩气平和保险，目前已正在邦内 20 余家 12 英寸晶圆厂、30 余条 CVD 坐蓐线行使，成为半导体 CVD 工艺气体管控的优选计划。

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